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热场发射扫描电子显微镜

简要描述:JSM-7610F热场发射扫描电子显微镜的光学系统经过改进,实现了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

  • 产品型号:JSM-7610FPlus
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-06-22
  • 访  问  量:154

详细介绍

热场发射扫描电子显微镜特性:

半浸没式物镜

半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可以获得超高分辨率。

 

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High Power Optics

High Power Optics 是独特的电子光学系统,既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

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热场发射扫描电子显微镜浸没式肖特基场发射电子枪,可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪(FEG)的探针电流,光阑角控制镜(ALC)在探针电流增大时也能保持小束斑,两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统,从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。

浸没式肖特基场发射电子枪銃   

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浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合,可以有效地收集从电子枪内发射的电子。

光阑角控制镜(ACL)

光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方,在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此,即使照射样品的探针电流很大,与传统方式相比,也能获得很小的电子束斑。

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即使探针电流很大,束斑直径也很小

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长时间分析时稳定度也很高

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柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式

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GB 模式的效果

GB 模式在低电压下提高分辨率

左图一般模式,右图GB模式:

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增强了的低加速电压下的分辨率

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r-过滤器

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 LABE检测器(选配件)

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利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像

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15-1.png扩展性

能谱仪(EDS)

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波谱仪(WDS)

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阴极荧光系统(CL)

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