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扫描电子显微镜的成像是如何完成的

发布时间:2021-08-27      点击次数:196
扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
成像原理:
扫描电镜的成像是靠扫描作用实现的。扫描发生器同时控制高能电子束和荧光屏中的电子束“同步扫描”,当电子束在样品上进行栅格扫描时,在荧光屏上也以相同的方式同步扫描,因此“样品空间”上的一系列点就与“显示空间”逐点对应。换言之,样品上电子束的各个位置与荧光屏上的各点确立了严格的对应关系。样品表面被电子束扫描,激发出各种物理信号,其强度与样品的表面特征有关,这些信号通过探测器按顺序、成比例地转为视频信号,经过放大,用来调制荧光屏对应点的电子束强度,即光点的亮度,这就形成了扫描电镜的图像。而图像上强度的变化反映出样品的特性。扫描电镜成像虽然不同光镜和透射电镜那样直接由物体发出的光线或电子束成像,这种成像过程如同利用信号探测器作为摄像机,对样品表面逐点拍摄,把各点产生的信号转换到荧光屏上成像。
 

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