EDX-7000/8000能量色散X射线分析仪的X射线管发出X射线照耀样品，样品中所含的原子则向外发射原子才有的X射线。这种X射线被称为荧光X射线，各元素具有特定的波长（能量）。因此，经过检测X射线的波长就可以进行定性分析。别的，荧光X射线的强度与浓度具有函数关系，检测每个元素X射线特征波长的X射线量就能进行定量分析。
EDX-7000/8000能量色散X射线分析是确认物质中微量元素的品种和含量的一种办法，又称X射线次级发射光谱分析，是运用原级X射线光子或其它微观粒子激起待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线(X光荧光)而进行物质成分分析和化学态研讨。
EDX-7000/8000能量色散X射线分析仪用X射线照耀试样时，试样可以被激起出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长(或能量）分开，别离测量不同波长(或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此运用的仪器也叫X射线荧光光谱仪。
原子结构由原子核及核外电子组成，每个核外电子都以特定的能量在固定轨道上运行。当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生磕碰时，驱逐一个内层电子(如:K层)而出现一个空穴，使整个原子结构处于不稳定状态，较外层电子(如:L层)就会自发地跃迁到内层来填充这个空穴。不同壳层之间存在能量差(如:LE=EL-EK)，当跃迁过程中能量差以二次X射线的方式开释出来时就可以发射特征X射线荧光。
每一种元素都有其特定波长（或能量）的特征X射线。由Moseley定律可知，元素的荧光X射线的波长(λ）随元素的原子序数(Z)添加，有规则地向短波方向移动。上式中K、S为常数，随谱系(L、K、M、N)而定。经过测定样品中荧光X射线的波长，就可以确认样品中元素的品种信息。这便是X射线荧光光谱定性分析。
元素特征X射线的强度与该元素在样品中的原子数量成比例。经过测量样品中某种元素荧光X射线的强度，采用适当的办法进行校准与校正，就可以求出该元素在样品中的百分含量。这便是X射线荧光光谱定量分析。
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