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当前位置:首页   >  产品中心  >  日本岛津  >  元素分析与光谱仪  >  EPMA-8050GX射线微区分析仪

X射线微区分析仪

简要描述:岛津能够提供钢铁、有色金属、环境、食品、化工、制药、半导体、陶瓷及高分子等众多领域客户,多种样品分析所需要的种类繁多的分析仪器。EPMA-8050G电子探针X射线微区分析仪的分析对象从几厘米到几微米;X射线光电子能谱仪(XPS)分析对象从几毫米到几微米;扫描探针显微镜(SPM)观察范围从100微米到几纳米。

  • 产品型号:EPMA-8050G
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-05-06
  • 访  问  量:109

详细介绍


“The Grand EPMA" 诞生

搭载场发射电子光学系统
将岛津EPMA分析性能充分发挥。

从SEM观察条件到1μA量级,在各种束流条件下都拥有空间分辨率的场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪,将分析性能有效发挥。

当之无愧的“The Grand EPMA" ,zui高水准的EPMA诞生!

超高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像(左侧)上直径只有50nm左右的Sn颗粒,在X射线图像(右侧)上也是清晰可见。


EPMA可达到的zui高级别的二次电子图像分辨率3nm(加速电压30kV)分析条件下的二次电子分辨率。
(加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

二次电子图像zui高分辨率3nm
碳喷镀金颗粒的观察实例。实现zui高分辨率
3nm(@30kV)。相对较高的束流也可将电子束压
细聚焦,更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

大束流超高灵敏度分析
实现3.0μA(加速电压30kV)的zui大束流。
全束流范围无需更换物镜光阑。

■ zui多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
无人可及的52.5°X射线取出角。
4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。
zui多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。

全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的先进可操作性。
追求「易懂」的人性化用户界面。
搭载导航模式,自动指引直至生成报告。

超高灵敏度面分析

使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相(左侧),同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前(右侧)。


实现微区超高灵敏度分析的先进技术

1 高亮度肖特基发射体
场发射电子枪采用的肖特基发射体比一般传统SEM使用的发射体针尖直径更大,输出更高。即可以保持其高亮度,还可提供高灵敏度分析不可缺少的稳定大电流。

2  EPMA电子光学系统
电子光学系统,聚光透镜尽可能的接近电子枪一侧,交叉点不是靠聚光透镜形成,而是由安装在与物镜光阑相同位置上,具有独立构成与控制方式的可变光阑透镜来形成交叉点的(日本:第4595778号)。简单的透镜结构,既能获得大束流,同时全部电流条件下设定zui合适的打开角度,将电子束压缩到zui细。当然是不需要更换物镜光阑的。

3 超高真空排气系统
电子枪室、中间室、分析腔体之间分别安装有筛孔(orifice)间隔方式的2级差动排气系统。中间室与分析腔体间的气流孔做到zui小,以控制流入中间室的气体,使电子枪室始终保持着超高真空,确保发射体稳定工作。

4 高灵敏度X射线谱仪
zui多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度与高分辨率的4英寸X射线谱仪。52.5°的X射线取出角在提高了X射线信号的空间分辨率的同时,又可减小样品对X射线的吸收,实现高灵敏度的分析。



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