EDX-LE能量色散X射线分析是用于元素分析应用的两种通用型X射线荧光技术之一。在EDXRF光谱仪中,样品中的所有元素都被同时激发,而能量色散检测仪与多通道分析仪相结合,用于同时收集从样品发射的荧光辐射,然后区分来自各个样品元素的特性辐射的不同能量。
X射线光学晶体可用于增强EDXRF仪器。对于常规XRF仪器,样品表面典型焦斑尺寸的直径范围从几百微米到几毫米不等。多毛细管聚焦光学晶体从发散X射线源收集X射线,并将它们引导至样品表面上形成直径小到几十微米的小聚焦光束。
EDX-LE能量色散X射线分析利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析,由此增加的强度以小焦斑传递到样品,可增强用于小特性分析的空间分辨率和用于微EDXRF应用的微量元素测量性能。
能量色散X射线光谱(EDX)通常借助电子显微镜使用对样品实施微区成分分析,依据元素特征X射线的波长和强度,来检测样品中不同元素的相对含量和分布情况。
在电子与物质相互作用时,采用能聚焦的入射电子可以激发初级x射线,不同元素发射出来的特征x射线波长不同,能量也不同。利用x射线能量不同而展谱一般称为x射线能谱分析或能量色散x射线分析,所用设备通常称为能量色散谱仪。
主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器,用以将特征x射线按能量展i}}Er7,5的分辨率远不如波长色散谱仪,它有分析速度快的优点,和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍,如果进行物相鉴定,只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。