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EDX-7000/8000能量色散X射线分析在晶体材料上的应用

发布时间:2022-05-11      点击次数:241
  EDX-7000/8000能量色散X射线分析是利用衍射原理,准确的测定物质的晶体结构,织构及应力,准确的进行物相分析,定性分析,定量分析。广泛应用于冶金,石油,化工,科研,航空航天,教学,材料生产等领域。
 
  EDX-7000/8000能量色散X射线分析可以通过延长测定时间增加X射线荧光的计数从而提高精度(重现性)。搭载高计数率SDD检测器的EDX-7000/8000与以往型号相比,能够在更短的时间内保证分析精度。
 
  能量色散X射线光谱(EDX)通常借助电子显微镜使用对样品实施微区成分分析,依据元素特征X射线的波长和强度,来检测样品中不同元素的相对含量和分布情况。EDX的探测效率高,操作简单,而且对样品表面没有特殊要求。
 
  但EDX的分辨率较低,并且只能分析原子序数大于11的元素,同时常用的Si探头要保持在低温状态下工作,操作上有所不便。EELS相比EDX对轻元素有更好的分辨效果,能量分辨率高出1~2个量级,空间分辨能力由于伴随着透射电镜技术,也可以达到10^-10m的量级,同时可以用于测试薄膜厚度,有一定时间分辨力。
 
  对于晶体材料,当待测晶体与入射束呈不同角度时,那些满足布拉格衍射的晶面就会被检测出来,体现在XRD图谱上就是具有不同的衍射强度的衍射峰。对于非晶体材料,由于其结构不存在晶体结构中原子排列的长程有序,只是在几个原子范围内存在着短程有序。故非晶体材料的XRD图谱为一些漫散射馒头峰。

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