EDX-7000/8000能量色散X射线分析在晶体材料上的应用

　　EDX-7000/8000能量色散X射线分析是利用衍射原理，准确的测定物质的晶体结构，织构及应力，准确的进行物相分析，定性分析，定量分析。广泛应用于冶金，石油，化工，科研，航空航天，教学，材料生产等领域。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射线分析可以通过延长测定时间增加X射线荧光的计数从而提高精度（重现性）。搭载高计数率SDD检测器的EDX－7000／8000与以往型号相比，能够在更短的时间内保证分析精度。

 

　　能量色散X射线光谱（EDX）通常借助电子显微镜使用对样品实施微区成分分析，依据元素特征X射线的波长和强度，来检测样品中不同元素的相对含量和分布情况。EDX的探测效率高，操作简单，而且对样品表面没有特殊要求。

 

　　但EDX的分辨率较低，并且只能分析原子序数大于11的元素，同时常用的Si探头要保持在低温状态下工作，操作上有所不便。EELS相比EDX对轻元素有更好的分辨效果，能量分辨率高出1～2个量级，空间分辨能力由于伴随着透射电镜技术，也可以达到10＾－10m的量级，同时可以用于测试薄膜厚度，有一定时间分辨力。

 

　　对于晶体材料，当待测晶体与入射束呈不同角度时，那些满足布拉格衍射的晶面就会被检测出来，体现在XRD图谱上就是具有不同的衍射强度的衍射峰。对于非晶体材料，由于其结构不存在晶体结构中原子排列的长程有序，只是在几个原子范围内存在着短程有序。故非晶体材料的XRD图谱为一些漫散射馒头峰。