岛津EDX-7000/8000X射线荧光就是被分析样品在X射线照射下发出的X射线，它包含了被分析样品化学组成的信息，通过对X射线荧光的分析确定被测样品中各组份含量的仪器就是X射线荧光分析仪。
岛津EDX-7000/8000X射线具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作电磁波。看作粒子时的能量和看作电磁波时的波长有着一一对应关系。这就是普朗克公式：E＝hc/λ。
无论是测定能量，还是波长，都可以实现对相应元素的分析，其效果是一样的。当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生碰撞时，驱逐一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态，激发态原子寿命约为10－12－10－14s，然后自发地由能量高的状态跃迁到能量低的状态。
这个过程称为驰豫过程。驰豫过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射跃迁。当较外层的电子跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，此称为俄歇效应，亦称次级光电效应或无辐射效应，所逐出的次级光电子称为俄歇电子。它的能量是特征的，与入射辐射的能量无关。
根据分光方式的不同，x射线荧光分析可分为能量色散和波长色散两类，也就是通常所说的能谱仪和波谱仪。通过测定荧光x射线的能量实现对被测样品分析的方式称之为能量色散x射线荧光分析，相应的仪器称之为能谱仪，通过测定荧光x射线的波长实现对被测样品分析的方式称之为波长色散x射线荧光分析，相应的仪器称之为X射线荧光光谱仪。
X射线测量是随机事件的统计测量，是由统计规律决定的，计数的绝对量取决于测量时间，并直接决定着测量误差的大小，足够长的测量时间是测量精度的前提条件，为了保证测量精度，要有足够的测量时间以及足够的计数率。
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