EDX能量色散X射线分析的两种类型滤光片介绍

　　EDX能量色散X射线分析作为一种快速分析手段，为我国的相关生产企业提供了一种可行的、低成本的、并且是及时的，检测、筛选和控制有害元素含量的有效途径；相对于其他分析方法，XRF具有无需对样品进行特别的化学处理、快速、方便、测量成本低等明显优势，特别适合用于各类相关生产企业作为过程控制和检测使用。

 

　　能量色散型仪器的优势在于：可以对样品不作特别复杂的处理而直接进行测量，对样品也没有任何损坏，适合直接用于生产的过程控制中，从荧光理论上，被测量样品的预先处理是需要的，对于能量色散仪器来说，我们可以采取一些技术手段进行校正来满足实际生产控制的需要，但即使采用了技术校正的手段，对不规则样品的直接测量也是以牺牲测量准确度作为代价的。

 

　　EDX能量色散X射线分析具有较高的测量精度，但同时需要对被测量样品进行简单处理，更适用于进厂原材料、半成品、成品的准确检测和质量控制；能量色散X荧光分析仪虽然测量精度稍差，但具有快速、直接测量各种形状样品的优点，因此可直接在生产线上用于各种部件、电子元器件的检测。

 

　　专业的讲使用滤光片的目的是消除或降低X射线管发射的原级X射线谱，尤其是靶材的特征X射线谱对待测元素的干扰，可改善峰背比，提高分析的灵敏度。

 

　　能量色散X射线荧光分析仪有两种类型的滤光片：初级滤光片和次级滤光片。

 

　　1、初级滤光片是将滤光片置于光管和样品间，其目的是为得到单色性更好的辐射和降低待分析元素谱感兴趣区内的由原级谱散射引起的背景。

 

　　2、次级滤光片是将滤光片置于样品和探测器之间，主要是对试样中产生的多元素X射线荧光谱线进行能量选择，提高待测元素的测量精度。